|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
001 |
BY-NLB-br393984 |
005 |
20220825084821.0 |
100 |
# |
# |
$a 20020327d2001 k y0rusy50 ||||ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
200 |
1 |
# |
$a Процессы обработки затравок для выращивания совершенных объемных монокристаллов полупроводникового карбида кремния методом ЛЭТИ
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e 05.27.06
$f Сысоев Андрей Александрович
$g [С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т]
|
210 |
# |
# |
$a СПб.
$d 2001
|
215 |
# |
# |
$a 16 с.
|
300 |
# |
# |
$a Библиогр.: c. 15-16 (7 назв.).
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar42268
$a ВЫРАЩИВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24588
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2187791
$a КАРБИД КРЕМНИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18168
$a МЕХАНИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6088086
$a ИНОКУЛЯТОРЫ (металлург.)
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1720201
$a ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2685016
$a КРЕМНИЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2105315
$a ВОЗГОНКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar28578
$a РОСТ КРИСТАЛЛОВ
$2 DVNLB
|
686 |
# |
# |
$a 31.15.17
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-525537
$a Сысоев
$b А. А.
$g Андрей Александрович
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20020327
$g psbo
|
801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|