Процессы обработки затравок для выращивания совершенных объемных монокристаллов полупроводникового карбида кремния методом ЛЭТИ: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06 / Сысоев Андрей Александрович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад66338,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Сысоев, А. А.
Опубликовано: СПб. , 2001
Физические характеристики: 16 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br393984
005 20220825084821.0
100 # # $a 20020327d2001 k y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Процессы обработки затравок для выращивания совершенных объемных монокристаллов полупроводникового карбида кремния методом ЛЭТИ  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.27.06  $f Сысоев Андрей Александрович  $g [С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т] 
210 # # $a СПб.  $d 2001 
215 # # $a 16 с. 
300 # # $a Библиогр.: c. 15-16 (7 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar42268  $a ВЫРАЩИВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24588  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2187791  $a КАРБИД КРЕМНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18168  $a МЕХАНИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6088086  $a ИНОКУЛЯТОРЫ (металлург.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1720201  $a ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2685016  $a КРЕМНИЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2105315  $a ВОЗГОНКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar28578  $a РОСТ КРИСТАЛЛОВ  $2 DVNLB 
686 # # $a 31.15.17  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.29  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-525537  $a Сысоев  $b А. А.  $g Андрей Александрович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20020327  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo