Разработка и исследование технологии высокоскоростного осаждения аморфного гидрогенизированного кремния и его сплавов в плазме низкочастотного разряда: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.01 / Бердников Аркадий Евгеньевич
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Бердников, А. Е. |
| Published: | Ярославль , 2001 |
| Physical Description: |
38 с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||