Разработка и исследование технологии высокоскоростного осаждения аморфного гидрогенизированного кремния и его сплавов в плазме низкочастотного разряда: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.01 / Бердников Аркадий Евгеньевич
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Бердников, А. Е. |
| Veröffentlicht: | Ярославль , 2001 |
| Beschreibung: |
38 с.
|
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||