Разработка и исследование технологии высокоскоростного осаждения аморфного гидрогенизированного кремния и его сплавов в плазме низкочастотного разряда: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.01 / Бердников Аркадий Евгеньевич
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Бердников, А. Е. |
| Апублікавана: | Ярославль , 2001 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
38 с.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||