Methods for obtaining a uniform volume concentration of implanted ions
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Реутов, В. Ф. |
Опубликовано: | Dubna , 1995 |
Физические характеристики: |
10 p.
|
Язык: | Английский |
Серия: |
Prepr.
E-14-95-56) |
00000cam0a22000004ib4500 | |||
001 | BY-NLB-br38640 | ||
005 | 20070615154556.0 | ||
010 | # | # | $d 1500 r. |
100 | # | # | $a 19940613d1995 u y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a eng |
105 | # | # | $a y z 000 y |
200 | 1 | # | $a Methods for obtaining a uniform volume concentration of implanted ions |
210 | # | # | $a Dubna $d 1995 |
215 | # | # | $a 10 p. |
225 | 1 | # | $a Prepr. $f The Joint Inst. for Nuclear Research $v E-14-95-56) |
300 | # | # | $a Ref.:p.10 |
675 | # | # | $a 539.1.06 $v 3 $z rus |
700 | # | 1 | $3 BY-SEK-149888 $a Реутов $b В. Ф. $g Валерий Филиппович $c доктор физико-математических наук |
801 | # | 0 | $a BY $b BY-HM0000 $c 19940613 $g psbo |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20060314 $g psbo |