Плазменные процессы в производстве изделий электронной техники : в 3 т. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Lehr- und Forschungsgebiet Werkstoffwissenschaften Rheinisch Westfälische Technische Hochschule Aachen. Т. 3 / под общей редакцией А. П. Достанко и П. А. Витязя

Сохранено в:
Шифр документа: 1Ба257028, 1Ба257029,
Вид документа: Книги
Опубликовано: 2001
Физические характеристики: 289, [1] с. : ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
ПЛАЗМЕННОЕ НАПЫЛЕНИЕ
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
МІКРАЭЛЕКТРОНІКА
ЭЛЕКТРОННАЯ ТЭХНІКА
ТЭХНАЛОГІЯ ВЫТВОРЧАСЦІ
ПЛАЗМЕННАЯ АПРАЦОЎКА
ПЛАЗМЕННАЕ НАПЫЛЕННЕ
ПЛАЗМЕННЫЯ ТЭХНАЛОГІІ
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
НАНЯСЕННЕ ПАКРЫЦЦЯЎ
ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА
ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
00000cam2a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br378671
005 20180726110236.0
010 # # $a 985-6564-30-1  $b в переплете 
100 # # $a 20020122d2001 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a ||||000yy 
109 # # $a aa 
200 0 # $a Т. 3  $f под общей редакцией А. П. Достанко и П. А. Витязя 
210 # # $d 2001 
215 # # $a 289, [1] с.  $c ил., табл. 
320 # # $a Библиография в конце глав 
345 # # $9 350 экз. 
461 # 0 $1 001BY-NLB-br330651G19391  $1 2000   $v Т. 3 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39076  $a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23653  $a ПЛАЗМЕННОЕ НАПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19558  $a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18371  $a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39077  $a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЭХНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33871  $a ТЭХНАЛОГІЯ ВЫТВОРЧАСЦІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23656  $a ПЛАЗМЕННАЯ АПРАЦОЎКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23654  $a ПЛАЗМЕННАЕ НАПЫЛЕННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23658  $a ПЛАЗМЕННЫЯ ТЭХНАЛОГІІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19559  $a НАНЯСЕННЕ ПАКРЫЦЦЯЎ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23655  $a ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23657  $a ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77.002:621.7/.9.048.7  $v 3  $z rus 
675 # # $a 621.38.002:621.7/.9.048.7  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.20.15  $2 rugasnti 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar2495390  $a Достанко  $b А. П.  $g Анатолий Павлович  $c доктор технических наук  $f 1937—2024 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar161314  $a Кундас  $b С. П.  $g Семен Петрович  $c доктор технических наук  $f 1953—2020 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar2634921  $a Бордусов  $b С. В.  $g Сергей Валентинович  $c доктор технических наук  $f род. 1955 
701 # 1 $3 BY-SEK-289572  $a Карпович  $b С. Е.  $g Святослав Евгеньевич  $c доктор технических наук  $f 1949—2023 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar2637784  $a Свадковский  $b И. В.  $g Игорь Витальевич 
701 # 1 $3 BY-SEK-688094  $a Босяков  $b М. Н.  $g Михаил Никифорович  $c кандидат физико-математических наук 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar2495368  $a Ануфриев  $b Л. П.  $g Леонид Петрович  $c доктор технических наук  $f род. 1945 
701 # 1 $3 BY-SEK-688095  $a Lugscheider  $b E. F.‏  $g Erich F.‏  $f род. 1940 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar2680327  $a Ильющенко  $b А. Ф.  $g Александр Федорович  $c доктор технических наук  $f род. 1956 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20020122  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo 

Схожие документы