|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br376455 |
| 005 |
20210528155557.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20020115d2001 k y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Математические модели термостабилизации полупроводниковых пластин газовой прослойкой для синтеза устройств в линиях фотолитографии
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e 05.13.18
$f Коваленко Владислав Борисович
$g [Воронеж. гос. технол. акад.]
|
| 210 |
# |
# |
$a Воронеж
$d 2001
|
| 215 |
# |
# |
$a 16 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: c. 15-16 (15 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2113377
$a МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18382
$a МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ИЗДЕЛИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24620
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar85256
$a ФОТОЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar54305
$a ТЕРМОСТАБИЛИЗАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a газовая прослойка
|
| 610 |
0 |
# |
$a газавая праслойка
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.77
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.49
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.13.18
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-508942
$a Коваленко
$b В. Б.
$g Владислав Борисович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20020115
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
