Электронно-спектроскопические исследования состояния поверхности гетероструктурных пленок, созданных имплантацией ионов Ba+, Na+, B+ и P+ в кремний: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.04 / Насриддинов Сайфилло Саидович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад60541,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Насриддинов, С. С.
Опубликовано: Ташкент , 2001
Физические характеристики: 22 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br374155
005 20210310113548.0
100 # # $a 20020104d2001 k y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Электронно-спектроскопические исследования состояния поверхности гетероструктурных пленок, созданных имплантацией ионов Ba+, Na+, B+ и P+ в кремний  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e 01.04.04  $f Насриддинов Сайфилло Саидович  $g Акад. наук Респ. Узбекистан, Ин-т электроники им. У.А.Арифова 
210 # # $a Ташкент  $d 2001 
215 # # $a 22 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 18-21 (21 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35913  $a ФИЗИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1658634  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3341921  $a МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1659663  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39094  $a ЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.35.43  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.21  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.04  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-506001  $a Насриддинов  $b С. С.  $g Сайфилло Саидович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20020104  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo