|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br357983 |
| 005 |
20070615191419.2 |
| 100 |
# |
# |
$a 20011008d2001 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Феноменологическое моделирование процессов осаждения нитридов алюминия и галлия из газовой фазы
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук
$e 05.27.06
$f Добрынин Андрей Витальевич
$g [Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)]
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 2001
|
| 215 |
# |
# |
$a 34 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: c. 32-34 (38 назв.).
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.10
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-500561
$a Добрынин
$b А. В.
$g Андрей Витальевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20011008
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
