|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br356971 |
| 005 |
20070615191406.6 |
| 100 |
# |
# |
$a 20011003d2001 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физические свойства и механизмы формирования низкоразмерных кремниевых структур во фторсодержащих средах
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук
$e 05.27.01
$f Проказников Александр Владимирович
$g [Ин-т микроэлектроники и информатики Рос. акад. наук]
|
| 210 |
# |
# |
$a Черноголовка
$d 2001
|
| 215 |
# |
# |
$a 50 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: c. 48-50 (25 назв.).
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.22
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-498822
$a Проказников
$b А. В.
$g Александр Владимирович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20011003
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
