Разработка теоретических и технических основ создания прецизионного технологического оборудования электронного машиностроения для субмикронных производств: Дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.07: 23.12.1999: 17.03.2000 / Гос. науч.-произв. концерн точ. машиностроения "Планар"
Сохранено в:
格式: | |
---|---|
主要作者: | Русецкий, А. М. (род. 1951) |
出版: | Мн. , 1999 |
語言: | Русский |
主題: | |
在線閱讀: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|