Разработка теоретических и технических основ создания прецизионного технологического оборудования электронного машиностроения для субмикронных производств: Дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.07: 23.12.1999: 17.03.2000 / Гос. науч.-произв. концерн точ. машиностроения "Планар"
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Русецкий, А. М. (род. 1951) |
| Publié: | Мн. , 1999 |
| Langue: | Русский |
| Sujets: | |
| Accès en ligne: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||