Разработка теоретических и технических основ создания прецизионного технологического оборудования электронного машиностроения для субмикронных производств: Дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.07: 23.12.1999: 17.03.2000 / Гос. науч.-произв. концерн точ. машиностроения "Планар"
Guardado en:
Formato: | |
---|---|
Autor principal: | Русецкий, А. М. (род. 1951) |
Publicado: | Мн. , 1999 |
Lenguaje: | Русский |
Materias: | |
Acceso en línea: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|