Разработка теоретических и технических основ создания прецизионного технологического оборудования электронного машиностроения для субмикронных производств: Дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.07: 23.12.1999: 17.03.2000 / Гос. науч.-произв. концерн точ. машиностроения "Планар"
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Русецкий, А. М. (род. 1951) |
| Published: | Мн. , 1999 |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
ОФХ диссертаций
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||