Разработка теоретических и технических основ создания прецизионного технологического оборудования электронного машиностроения для субмикронных производств: Дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.07: 23.12.1999: 17.03.2000 / Гос. науч.-произв. концерн точ. машиностроения "Планар"
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Русецкий, А. М. (род. 1951) |
| Апублікавана: | Мн. , 1999 |
| Мова: | Руская |
| Прадмет: | |
| Е-дакумент: |
E-дакумент
|
ОФХ диссертаций
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||