
Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.27.07 Оборудование производства электронной техники / Клеменов Владимир Николаевич
Сохранено в:
格式: | |
---|---|
主要作者: | Клеменов, В. Н. |
出版: | Москва , 2000 |
實物描述: |
42 с. : ил., табл.
|
語言: | Русский |
主題: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|