Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.27.07 Оборудование производства электронной техники / Клеменов Владимир Николаевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад52688,
格式: Авторефераты диссертаций
主要作者: Клеменов, В. Н.
出版: Москва , 2000
實物描述: 42 с. : ил., табл.
語言: Русский
主題:

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 可用  預訂

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
2Ад52688 ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:2:76 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал