Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.27.07 Оборудование производства электронной техники / Клеменов Владимир Николаевич
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Клеменов, В. Н. |
| Publié: | Москва , 2000 |
| Description matérielle: |
42 с. : ил., табл.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||