Материалы и процессы формирования многослойных металлизации кремниевых СБИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.06 / Громов Дмитрий Геннадьевич
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Громов, Д. Г. |
| Published: | М. , 2000 |
| Physical Description: |
40 с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||