Материалы и процессы формирования многослойных металлизации кремниевых СБИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.06 / Громов Дмитрий Геннадьевич
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Громов, Д. Г. |
| Апублікавана: | М. , 2000 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
40 с.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||