|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br333852 |
| 005 |
20200707115807.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20010517d2000 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a a 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Материалы и процессы формирования многослойных металлизации кремниевых СБИС
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук
$e 05.27.06
$f Громов Дмитрий Геннадьевич
$g Моск. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 2000
|
| 215 |
# |
# |
$a 40 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: c. 35-40 (38 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2246902
$a КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121092
$a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17958
$a МЕТАЛЛИЗАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3170564
$a МНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2852972
$a ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33866
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-493549
$a Громов
$b Д. Г.
$g Дмитрий Геннадьевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20010517
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
