|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br330620 |
| 005 |
20200910105347.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20010427d2000 k y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Математическое моделирование технологических процессов на примере автоэпитаксии кремния
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук
$e 05.13.18
$f Матюшкин Игорь Валерьевич
$g [Моск. физ.-технол. ин-т (гос. ун-т)]
|
| 210 |
# |
# |
$a Долгопрудный
$d 2000
|
| 215 |
# |
# |
$a 16 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 14-16 (17 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar7358508
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1659663
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34133
$a ТОЛСТЫЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar13824121
$a ГОМОЭПИТАКСИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2687615
$a ХЛОРИДЫ КРЕМНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2113377
$a МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.77
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.13.18
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-493163
$a Матюшкин
$b И. В.
$g Игорь Валерьевич
$c кандидат физико-математических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20010427
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
