|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-br3258 |
| 005 |
20230421114936.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 5-03-002002-0
$d Б.ц.
|
| 100 |
# |
# |
$a 19930724d1992 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a a 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Высоковакуумное производство в микроэлектронной промышленности
$f Пер.с англ. Н.В.Васильченко и др.
$g Под ред.С.А.Неустроева
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Мир
$d 1992
|
| 215 |
# |
# |
$a 262 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.:с.203-208 (125 назв.).
|
| 345 |
# |
# |
$9 800 экз.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4853
$a ВАКУУМ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4854
$a ВАКУУМ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6544
$a ВЫСОКОВАКУУМНЫЕ УСТАНОВКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11347
$a ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ ТЕХНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18375
$a МІКРАЭЛЕКТРОННАЯ ПРАМЫСЛОВАСЦЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11348
$a ВЫМЯРАЛЬНАЯ ТЭХНІКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18374
$a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2484405
$a ЗДАБЫВАННЕ РЭЧЫВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2458519
$a БЕЗОПАСНАЯ ЭКСПЛУАТАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4863
$a ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ
$2 DVNLB
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002-982
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-155818
$a Дюваль
$b П.
$g Пьер
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19930724
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060314
$g psbo
|
