Роль поверхности в поведении радиационных дефектов в кремнии при отжиге / В.А.Буренков, В.С.Вариченко, А.Ю.Дидык, А.Р.Челядинский

Сохранено в:
Шифр документа: 1Ок211275(ДХ),
Вид документа: Книги
Опубликовано: Дубна : ОИЯИ , 2000
Физические характеристики: 8 с.
Язык: Русский
Серия: Препринт Р14-2000-106
Предмет:
00000cam0a22000004ib4500
001 BY-NLB-br276125
005 20180226102323.0
010 # # $d 1 р. 19 к. 
100 # # $a 20001017d2000 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a 000yy 
109 # # $a aa 
200 1 # $a Роль поверхности в поведении радиационных дефектов в кремнии при отжиге  $f В.А.Буренков, В.С.Вариченко, А.Ю.Дидык, А.Р.Челядинский 
210 # # $a Дубна  $c ОИЯИ  $d 2000 
215 # # $a 8 с. 
225 1 # $a Препринт  $f Объед. ин-т ядер. исслед.  $v Р14-2000-106 
300 # # $a Библиогр.: с. 8 (9 назв.). 
345 # # $9 290 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23904  $a ПОВЕРХНОСТИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22258  $a ОТЖИГ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12192  $a ИОНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26910  $a РАДЫЯЦЫЙНЫЯ ДЭФЕКТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23905  $a ПАВЕРХНІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22259  $a АДПАЛ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12193  $a ІОНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26909  $a РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
675 # # $a 537.311.322:548.3  $v 3  $z rus 
675 # # $a 537.311.322:539.26  $v 3  $z rus 
686 # # $a 29.15.35  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.21  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti 
701 # 1 $3 BY-SEK-376113  $a Буренков  $b В. А. 
701 # 1 $3 BY-SEK-216878  $a Вариченко  $b В. С.  $g Валерий Сергеевич  $c кандидат физико-математических наук  $f род. 1956 
701 # 1 $3 BY-SEK-126972  $a Дидык  $b А. Ю.  $g Александр Юрьевич  $c доктор физико-математических наук  $f род. 1952 
701 # 1 $3 BY-SEK-191851  $a Челядинский  $b А. Р.  $g Алексей Романович  $c доктор физико-математических наук  $f род. 1945 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20001017  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo