Формирование тонких пленок диоксида циркония методом анодирования, его свойства и применение в элементах микросхем: Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01: 03.12.1998: 10.02.1999 / Бел. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники

Сохранено в:
Шифр документа: 26Ад1772,
Вид документа: Диссертации
Автор: Петров, Н. П.
Опубликовано: Мн. , 1998
Язык: Русский
Предмет:
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
ДИОКСИДЫ
ЦИРКОНИЙ
ОТЖИГ
ХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
АНОДНОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
ДЫАКСІДЫ
ЦЫРКОНІЙ
АДПАЛ
ХІМІЧНАЯ АПРАЦОЎКА
АНОДНАЕ АКСІДЗІРАВАННЕ
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004id4500
001 BY-NLB-br242471
005 20230314144806.0
100 # # $a 20000113d1998 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a a 000yy 
106 # # $a h 
109 # # $a aa  $a ab 
200 1 # $a Формирование тонких пленок диоксида циркония методом анодирования, его свойства и применение в элементах микросхем  $e Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.27.01  $e 03.12.1998  $e 10.02.1999  $f Бел. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники 
210 # # $a Мн.  $d 1998 
300 # # $a Библиогр.: л. 139-155 (182 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9325  $a ДИОКСИДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar37507  $a ЦИРКОНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22258  $a ОТЖИГ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36831  $a ХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83379  $a АНОДНОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34162  $a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9326  $a ДЫАКСІДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar37508  $a ЦЫРКОНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22259  $a АДПАЛ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36832  $a ХІМІЧНАЯ АПРАЦОЎКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83380  $a АНОДНАЕ АКСІДЗІРАВАННЕ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.772.1.002:621.794.61:621.357.8(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.22.19  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar14411880  $a Петров  $b Н. П.  $g Николай Петрович  $c кандидат технических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20000113  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br242471&fileID=534943 

Схожие документы