Исследование процессов удаления фоторезиста и травления окисла кремния в плазме высокочастотного индукционного разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.08 Физика и химия плазмы / Никифоренко Николай Николаевич

Сохранено в:
Шифр документа: Ба184781,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Никифоренко, Н. Н.
Опубликовано: Минск , 1980
Физические характеристики: 16 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
ПЛАЗМОХИМИЯ
ФИЗИКА ПЛАЗМЫ
ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ПЛАЗМА
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
ФОТОРЕЗИСТЫ
ОКСИДЫ КРЕМНИЯ
ТРАВЛЕНИЕ
ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ
ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br235873
005 20190128154922.0
100 # # $a 19981104d1980 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование процессов удаления фоторезиста и травления окисла кремния в плазме высокочастотного индукционного разряда  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 01.04.08 Физика и химия плазмы  $f Никифоренко Николай Николаевич  $g Институт физики АН БССР 
210 # # $a Минск  $d 1980 
215 # # $a 16 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 15―16 (16 назв.) 
333 # # $a Для служебного пользования 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1583164  $a ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1596592  $a ФОТОРЕЗИСТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2212609  $a ОКСИДЫ КРЕМНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23916  $a ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3291362  $a ПЛАЗМОХИМИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34342  $a ТРАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35847  $a ФИЗИКА ПЛАЗМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6836  $a ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ПЛАЗМА  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 533.9.082.5(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 29.19.22  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.27.43  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 31.15.30  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 31.15.35  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-301080  $a Никифоренко  $b Н. Н.  $g Николай Николаевич  $c кандидат физико-математических наук 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar2446913  $a Институт прикладных физических проблем имени А. Н. Севченко  $c Минск  $4 595 
712 0 2 $3 BY-SEK-203558  $a Институт физики  $c Минск  $4 995 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19981104  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br235873&fileID=169815 

Схожие документы