Неконтролируемые примеси в полупроводниковых структурах на основе кремния и методы их геттерирования: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / АН БССР, Ин-т физики твердого тела и полупроводников
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Комар, В. А. |
| Published: | Мн. , 1987 |
| Physical Description: |
19 с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||