Неконтролируемые примеси в полупроводниковых структурах на основе кремния и методы их геттерирования: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / АН БССР, Ин-т физики твердого тела и полупроводников
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Комар, В. А. |
| Veröffentlicht: | Мн. , 1987 |
| Beschreibung: |
19 с.
|
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||