Исследование процессов формирования металлических и поликристаллических кремниевых электродов для низкопороговых к МОП БИС: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование / Лесникова Валентина Павловна

Сохранено в:
Шифр документа: Ба170808, АЯ383845, БА166232, БА166233, БА170809,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Лесникова, В. П.
Опубликовано: Минск , 1980
Физические характеристики: 22 с.
Язык: Русский
Предмет:
БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
КМОП-СХЕМЫ
ЭЛЕКТРОДЫ
КМОП (технология)
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br228953
005 20220415115426.0
100 # # $a 19981014d1980 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a y m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование процессов формирования металлических и поликристаллических кремниевых электродов для низкопороговых к МОП БИС  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование  $f Лесникова Валентина Павловна  $g Институт электроники Академии наук Белорусской ССР 
210 # # $a Минск  $d 1980 
215 # # $a 22 с. 
320 # # $a Библиография: с. 20―22 (24 назв.) 
333 # # $a Для служебного пользования 
606 0 # $3 BY-NLB-ar10484490  $a КМОП-СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2105390  $a БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33874  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38934  $a ЭЛЕКТРОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9590110  $a КМОП (технология)  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.771.14-027.3(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 05.12.18  $2 nsnrsssr 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-296047  $a Лесникова  $b В. П.  $g Валентина Павловна  $c электроника 
712 0 0 $3 BY-NLB-ar2107521  $a "Интеграл"  $g научно-производственное объединение  $c Минск  $4 595 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar198721  $a Физико-технический институт  $c Минск  $4 595 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar2460032  $a Институт электроники  $c Минск  $4 995 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19981014  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br228953&fileID=163275 

Схожие документы