Физико-химические методы стимулирования технологических процессов микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование / Колешко Владимир Михайлович
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Колешко, В. М. (род. 1942) |
| Publié: | Минск , 1980 |
| Description matérielle: |
50 с. : табл.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: | |
| Accès en ligne: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Disponible Réserver | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||