Магнетронные распылительные системы для нанесения тонких пленок с заданным распределением толщины: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.07 / АН БССР, Ин-т электроники
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Ивахненко, В. Н. |
| Publié: | Мн. , 1989 |
| Description matérielle: |
13 с.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: | |
| Accès en ligne: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||