Магнетронные распылительные системы для нанесения тонких пленок с заданным распределением толщины: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.07 / АН БССР, Ин-т электроники
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Ивахненко, В. Н. |
| Апублікавана: | Мн. , 1989 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
13 с.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: | |
| Е-дакумент: |
E-дакумент
|
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||