|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br226025 |
| 005 |
20200916091904.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 19981020d1980 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование процесса катодного взаимодействия металлсодержащих растворов с поверхностью кремния и разработка физико-химических основ технологических процессов легирования и металлизации кремния
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование
$f Петрович Владимир Алексеевич
$g Академия наук Белорусской ССР, Институт электроники АН БССР
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$d 1980
|
| 215 |
# |
# |
$a 24 с.
$c граф.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 22―24 (18 назв.)
|
| 333 |
# |
# |
$a Для служебного пользования
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2105390
$a БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24592
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12158
$a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17958
$a МЕТАЛЛИЗАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar65949
$a МЕТАЛЛОСОДЕРЖАЩИЕ СОЕДИНЕНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2105397
$a ВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24593
$a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ ПРЫБОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11907
$a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12159
$a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15097
$a КРЭМНІЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17959
$a МЕТАЛІЗАЦЫЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33875
$a ТЭХНАЛАГІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar65950
$a МЕТАЛАЗМЯШЧАЛЬНЫЯ ЗЛУЧЭННІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77(043.3)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.12.18
$2 nsnrsssr
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-121304
$a Петрович
$b В. А.
$g Владимир Алексеевич
$c кандидат физико-математических наук, физик
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar2460032
$a Институт электроники
$c Минск
$4 995
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar5102567
$a Минский радиотехнический институт
$4 595
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19981020
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060315
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br226025&fileID=186140
|
