Исследование столкновительных и диффузионных процессов при ионной имплантации: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / Физ.-техн. ин-т Урал. округа Рос. Акад. наук
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Баранов, М. А. |
| Апублікавана: | Ижевск , 1999 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
22 с.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||