Планаризация диэлектрика и повышение термостабильности алюминия при создании интегральных схем: Дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / Н.-и. конструкт.-технол. предприятие "Белмикросистемы" НПО "Интеграл"
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Пономарь, В. Н. |
| Published: | Мн. , 1998 |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
ОФХ диссертаций
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||