Планаризация диэлектрика и повышение термостабильности алюминия при создании интегральных схем: Дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / Н.-и. конструкт.-технол. предприятие "Белмикросистемы" НПО "Интеграл"
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Пономарь, В. Н. |
| Апублікавана: | Мн. , 1998 |
| Мова: | Руская |
| Прадмет: | |
| Е-дакумент: |
E-дакумент
|
ОФХ диссертаций
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||