|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br171047 |
| 005 |
20191015132908.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 19990121d1998 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a y m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Примеси и собственные дефекты в карбиде кремния в связи с условиями роста, легирования и релаксационного отжига
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук
$e 01.04.10
$f Рос. АН, Физ.-техн. ин-т
|
| 210 |
# |
# |
$a СПб.
$d 1998
|
| 215 |
# |
# |
$a 47 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр: c. 40-46 (116 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12158
$a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22258
$a ОТЖИГ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar25539
$a ПРЫМЕСІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22259
$a АДПАЛ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar25538
$a ПРИМЕСИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12159
$a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2749267
$a ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2749268
$a ФІЗІКА ПАЎПРАВАДНІКОЎ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a карбиды кремния
|
| 610 |
0 |
# |
$a Собственные дефекты
|
| 610 |
0 |
# |
$a карбіды крэмнія
|
| 610 |
0 |
# |
$a Уласныя дэфекты
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.11
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.10
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-452145
$a Мохов
$b Е. Н.
$g Евгений Николаевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19990121
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
