Получение и исследование свойств гетероэпитаксиальных пленок СоSi2/Si и Si/CoSi2: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.04 / Акад. наук Респб. Узбекистан, Ин-т электроники им. У.А.Арипова
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Усманов, М. |
| Published: | Ташкент , 1998 |
| Physical Description: |
20 с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||