
Получение и исследование свойств гетероэпитаксиальных пленок СоSi2/Si и Si/CoSi2: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.04 / Акад. наук Респб. Узбекистан, Ин-т электроники им. У.А.Арипова
Захавана ў:
Тып дакумента: | |
---|---|
Аўтар: | Усманов, М. |
Апублікавана: | Ташкент , 1998 |
Фізіч. характарыстыкі: |
20 с.
|
Мова: | Руская |
Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|