Разработка технологического процесса получения тонкопленочных покрытий диоксида циркония термолизом алксоединений: Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Бел. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники

Сохранено в:
Шифр документа: 26Ад462,
Вид документа: Диссертации
Автор: Соловьев, В. В.
Опубликовано: Мн. , 1994
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004id4500
001 BY-NLB-br166850
005 20220329163448.0
100 # # $a 19971022d1994 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a a m 000yy 
106 # # $a h 
109 # # $a ab  $a aa 
200 1 # $a Разработка технологического процесса получения тонкопленочных покрытий диоксида циркония термолизом алксоединений  $e Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.27.01  $f Бел. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники 
210 # # $a Мн.  $d 1994 
300 # # $a Библиогр.: л. 182-194 (117 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18371  $a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19559  $a НАНЯСЕННЕ ПАКРЫЦЦЯЎ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2267230  $a ДИОКСИД ЦИРКОНИЯ   $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar32976  $a ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar32977  $a ЦВЕРДАЦЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar77311  $a МЕТАЛЛООРГАНИЧЕСКИЕ СОЕДИНЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar77312  $a МЕТАЛААРГАНІЧНЫЯ ЗЛУЧЭННІ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77  $v 3  $z rus 
686 # # $a 05.27.01  $2 nsnrrb 
686 # # $a 47.33  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-366113  $a Соловьев  $b В. В.  $g Владимир Валерьевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19971022  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br166850&fileID=316645