Физико-технологические основы ионно-плазменного травления карбида кремния: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06 / Санкт-Петерб. электротехн. ун-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Чжан, Х. |
| Опубликовано: | СПб. , 1993 |
| Физические характеристики: |
18 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||