Физико-технологические основы ионно-плазменного травления карбида кремния: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06 / Санкт-Петерб. электротехн. ун-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Чжан, Х. |
| Опубликовано: | СПб. , 1993 |
| Физические характеристики: |
18 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000cam0a22000004ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-br164498 | ||
| 005 | 20070615190617.2 | ||
| 100 | # | # | $a 19970605d1993 u y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 105 | # | # | $a y m 001yy |
| 109 | # | # | $a ac $a aa |
| 200 | 1 | # | $a Физико-технологические основы ионно-плазменного травления карбида кремния $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e 05.27.06 $f Санкт-Петерб. электротехн. ун-т |
| 210 | # | # | $a СПб. $d 1993 |
| 215 | # | # | $a 18 с. |
| 686 | # | # | $a 47.09.29 $2 rugasnti |
| 686 | # | # | $a 05.27.06 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $3 BY-SEK-439458 $a Чжан $b Х. $g Хай-Ин |
| 801 | # | 0 | $a BY $b BY-HM0000 $c 19970605 $g psbo |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20060316 $g psbo |