Повышение эффективности защиты персонала и окружающей среды при проведении процессов вакуумно-плазменного травления функциональных слоев в производсте ИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06 / Моск. гос. акад. тон. хим. технологии им. М.В.Ломоносова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Трубин, И. С. |
| Опубликовано: | М. , 1994 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000cam0a22000004ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-br164189 | ||
| 005 | 20070615190620.9 | ||
| 100 | # | # | $a 19930101d1994 u y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 105 | # | # | $a y m 001yy |
| 109 | # | # | $a ac $a aa |
| 200 | 1 | # | $a Повышение эффективности защиты персонала и окружающей среды при проведении процессов вакуумно-плазменного травления функциональных слоев в производсте ИС $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e 05.27.06 $f Моск. гос. акад. тон. хим. технологии им. М.В.Ломоносова |
| 210 | # | # | $a М. $d 1994 |
| 215 | # | # | $a 22 с. |
| 686 | # | # | $a 47.33.31 $2 rugasnti |
| 686 | # | # | $a 47.09.29 $2 rugasnti |
| 686 | # | # | $a 05.27.06 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $3 BY-SEK-440099 $a Трубин $b И. С. $g Игорь Сергеевич $c доктор технических наук |
| 801 | # | 0 | $a BY $b BY-HM0000 $c 19930101 $g psbo |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20060316 $g psbo |