
Исследование и разработка двухкоординатных систем прецизионного перемещения в вакуумных корпускулярно-лучевых установках: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.13.05 / С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т
Захавана ў:
Тып дакумента: | |
---|---|
Аўтар: | Давыдов, В. Н. |
Апублікавана: | СПб. , 1993 |
Фізіч. характарыстыкі: |
16 с.
|
Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|