Теоретические основы синтеза технологического оборудования с аэродинамическими прослойками при автоматизации производства изделий микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.13.07 ; 05.27.07 / Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э.Баумана
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Попов, Г. В. |
| Опубликовано: | М. , 1994 |
| Физические характеристики: |
32 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||