|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br161502 |
| 005 |
20070615190549.7 |
| 100 |
# |
# |
$a 19930101d1994 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Синтез самонастривающихся систем управления технологическими процессами сухого травления кремния
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e 05.13.07
$f Моск. гос. авиац. ин-т
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1994
|
| 215 |
# |
# |
$a 13 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 13 (8 назв.)
|
| 686 |
# |
# |
$a 50.47.02
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.13.07
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-435184
$a Клебанова
$b И. В.
$g Ирина Валентиновна
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19930101
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
