|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br152893 |
| 005 |
20240117143206.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 19930101d1993 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a y km 001yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Электронная Оже-спектроскопия для исследования и контроля технологии СБИС
$e Автореф.дис.на соиск.учен.степ.д-ра физ.-мат.наук:(01.04.10)
$f Моск.ин-т электрон.техники
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1993
|
| 215 |
# |
# |
$a 45 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с.35-45 (76 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar56685
$a ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121092
$a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 675 |
# |
# |
$a 538.97-405(043.3)
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.23.
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.10
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-418246
$a Игнатьев
$b А. С.
$g Александр Сергеевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19930101
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
