Исследование диэлектрической системы "неоднородная пленка-однородная подложка" эллипсометрическим методом: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.01 / Рос. АН, Ин-т аналит. приборостроения
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Шептунов, О. А. |
| Publicado: | СПб. , 1993 |
| Descripción Física: |
15 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||