Эллипсометрическая диагностика структур полупроводник-окисел: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / Рос. АН, Физ.-техн. ин-т им. А.Ф.Иоффе, ЦНИИ "Электрон"
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Макарова, Т. Л. |
| Veröffentlicht: | СПб. , 1993 |
| Beschreibung: |
18 с.
|
| Sprache: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||