Исследование влияния электронного и ионного облучения на островковые и диэлектрические пленки: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.04 / АН Респ. Узбекистан, Ин-т электроники им. У.А.Арифова

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад12627,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Кареев, М. С.
Опубликовано: Ташкент , 1993
Физические характеристики: 24 с.
Язык: Русский
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br150764
005 20070615190336.1
100 # # $a 19930101d1993 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a y m 001 y 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Исследование влияния электронного и ионного облучения на островковые и диэлектрические пленки  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e 01.04.04  $f АН Респ. Узбекистан, Ин-т электроники им. У.А.Арифова 
210 # # $a Ташкент  $d 1993 
215 # # $a 24 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 20-22 (16 назв.) 
686 # # $a 01.04.04  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-413460  $a Кареев  $b М. С.  $g Михаил Сергеевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19930101  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo