Исследование образования отрицательно-ионных и нейтральных кластеров при распылении карбида кремния и ЩГК ионами цезия: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.физ.-мат.наук: 01.04.04 / АН Респ.Узбекистан,Ин-т электроники им.У.А.Арифова

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад6834,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Абдуллаев, А. Х.
Опубликовано: Ташкент , 1995
Физические характеристики: 22с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br145324
005 20231116131011.0
100 # # $a 19930101d1995 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a y m 001yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование образования отрицательно-ионных и нейтральных кластеров при распылении карбида кремния и ЩГК ионами цезия  $e Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.физ.-мат.наук  $e 01.04.04  $f АН Респ.Узбекистан,Ин-т электроники им.У.А.Арифова 
210 # # $a Ташкент  $d 1995 
215 # # $a 22с. 
300 # # $a Библиогр.:c.20(9 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar13524  $a КЛАСТЕРЫ (хим.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12192  $a ИОНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39074  $a ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39075  $a ЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2265770  $a ИОННАЯ ЭМИССИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2187791  $a КАРБИД КРЕМНИЯ  $2 DVNLB 
610 0 # $a кремниевые кристаллы 
610 0 # $a крэмніевыя крышталі 
686 # # $a 29.35.37  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.04  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-401532  $a Абдуллаев  $b А. Х.  $g Аскар Хусинович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19930101  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo